本·科恩 (Ben Cohen) 为《华尔街日报》撰写的精彩文章（新闻+链接）：
关于 EUV 工具，有两件事让我无法忘怀：
ASML 与一家德国光学公司合作开发了非常平坦的镜子，如果将它们放大到德国本身的大小，其最大缺陷将不到一毫米。
EUV 机器的精度相当于从您的房屋引导激光束并在月球上打乒乓球。
这些极其复杂的机器花了几十年的时间才从实验室发展到工厂。直到最近，人们还不清楚该公司对 EUV 光刻技术的大胆押注是否会得到回报。 2012年，ASML因现金短缺，将23%的股权出售给英特尔、三星电子和台积电，这意味着其最大的客户实际上为公司的成功进行了投资。
ASML 很快就提高了产量——非常非常缓慢。该公司于 2010 年交付了第一套 EUV 系统。直到 2020 年才交付了第 100 套。去年是忙碌的一年：ASML 总共出货了 42 台 EUV 机器。
这篇文章还介绍了 ASML 工程师 Brienna Hall，她是保持这些机器完美运行的一小群一线支持工程师之一。然而，这篇文章的标题却奇怪地暗示她是世界上唯一的这样的支持工程师。奇怪的标题分散了人们对原本引人入胜的故事的注意力。
原文： https://www.wsj.com/tech/ai/asml-euv-machine-lithography-chips-967954d0