这个问题我们很少会遇到，但如果你需要校准扫描电子显微镜，你就需要一个在电子束下具有高对比度的高分辨率目标。这需要一个由高密度和低密度材料交替组成的极小图案， [ProjectsInFlight] 在他的最新视频中通过在硅片上沉积金纳米颗粒创造了这种图案。
[ProjectsInFlight] 的扫描电子显微镜来自一个因无法使用而被丢弃的实验室，正如我们之前所见，他后来一直在修复它。这台显微镜全新时可以放大 20 万倍，分辨 5.5 纳米的特征。一个带有一系列特征尺寸的分辨率目标可以显示显微镜目前还能达到的放大倍数。[ProjectsInFlight] 还可以使用该目标进行维修前后对比，并适当调整电子束。
由于很容易获得非常平坦的硅晶片，[ProjectsInFlight] 决定将其作为目标的低密度部分，并在其上沉积各种尺寸的金纳米颗粒作为高密度部分。为了制备纳米颗粒，他首先将少量金样品溶解在王水中，制成氯金酸，然后用柠檬酸钠将其还原回金纳米颗粒。这样可以得到 50-100 纳米范围内的颗粒，但 [ProjectsInFlight] 还需要一些更大的颗粒。这在一段时间内很麻烦，直到他意识到在制备纳米颗粒之前，需要将反应温度溶液冷却至接近冰点的温度。
利用这些粒子，[ProjectsInFlight] 能够调整显微镜电子束的散光设置，以便可以清楚地分辨出较大的粒子，而勉强看到较小的粒子——考虑到它们的直径不到 100 纳米，这真是一项了不起的成就！
电子显微镜至今仍是一种相当罕见的仪器，但并非闻所未闻。如果你发现一台坏了的，它可能是一笔值得的投资。
原文： https://hackaday.com/2025/06/12/diy-calibration-target-for-electron-microscopes/